A50.7011走査型電子顕微鏡サンプルコーティングイオンスパッタリングコーター
製品説明
A50.7011イオンスパッタコーター | |
真空室 | 直径100mm * H130mm |
標本段階 | 直径40mm(6個の試料カップを保持) |
金スパッタリングターゲット | 直径58mm * 0.12mm(厚さ) |
真空計 | ピラニ真空計 |
真空ポンプ | 回転ベーンポンプ:2L / s |
真空保護ポイント | マイクロスケールインフレーションバルブ付き20Pa |
作動ガス | アルゴンまたはアルゴンガス特殊空気入口とマイクロスケールのガス調整を備えた空気 |
スパッタリング電圧 | 1.6KV |
総重量 | 48kg |
コンプライアンス | CE |
会社情報
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