A50.7011走査型電子顕微鏡サンプルコーティングイオンスパッタリングコーター
製品説明
| A50.7011イオンスパッタコーター | |
| 真空室 | 直径100mm * H130mm |
| 標本段階 | 直径40mm（6個の試料カップを保持） |
| 金スパッタリングターゲット | 直径58mm * 0.12mm（厚さ） |
| 真空計 | ピラニ真空計 |
| 真空ポンプ | 回転ベーンポンプ：2L / s |
| 真空保護ポイント | マイクロスケールインフレーションバルブ付き20Pa |
| 作動ガス | アルゴンまたはアルゴンガス特殊空気入口とマイクロスケールのガス調整を備えた空気 |
| スパッタリング電圧 | 1.6KV |
| 総重量 | 48kg |
| コンプライアンス | CE |
会社情報
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