タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡、エコ。SEM、15x〜250000x
製品説明
A63.7062タングステンフィラメント 走査型電子顕微鏡、エコ。SEM | ||
解決 | 4.5nm@30KV(SE); 6nm @ 30KV(BSE) | |
倍率 | 負の倍率:15x〜250000x; 画面倍率:30x〜500000x | |
電子銃 | タングステン熱陰極-プレセンタリングタングステンフィラメントカートリッジ | |
加速電圧 | 0〜30KV | |
レンズシステム | 3レベル電磁レンズ(テーパーレンズ) | |
対物レンズ絞り | モリブデン開口部調整可能な外部真空システム | |
標本段階 | 5軸ステージ | |
移動範囲 | X(自動) | 0〜50mm |
Y(自動) | 0〜50mm | |
Z(手動) | 0〜25mm | |
R(手動) | 360o | |
T(マニュアル) | -5o〜90o | |
最大試験片直径 | 150mm | |
検出器 | SE:高真空二次電子検出器(検出器保護付き) | |
変形 | ステージアップグレード; EBL; STM; AFM;加熱ステージ;クライオステージ;引張ステージ;マイクロナノマニピュレーター; SEM +コーティング機; SEM +レーザー | |
付属品 | CCD、LaB6、X線検出器(EDS)、EBSD、CL、WDS、コーティング機 | |
真空システム | ターボ分子ポンプ;回転ポンプ | |
電子ビーム電流 | 10pA〜0.1 |
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